磁控溅射沉积设备(科研生产型)

发表时间:2017-01-12
  磁控溅射设备是一种多功能、高效率的镀膜设备。可以在陶瓷、玻璃、石英、硅片等基底材料上溅镀金属、非金属、氧化物、介质等材料的薄膜,如: Au、Al、NiCr、TiW、Si、Al2O3 、Si3N4、ZnO、ITO等。溅镀膜层均匀、致密、附着力强,可应用到新型电子材料制备及光学、太阳能、 半导体等领域。
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